高分辨率成像：可在不同视场范围下获得高分辨率、大景深的样品表面微观形貌图像。 微区成分分析：通过集成X射线能谱仪（EDS）等探测器，对样品微区进行元素成分分析。 兼容多种样品：支持高真空和低真空模式切换，可直接观察导电性差或不导电的样品，无需特殊处理。

电子枪类型：预对中型发叉式钨灯丝电子枪 分辨率： 高真空：3nm@30kV（SE）；4nm@30kV（BSE）；8nm@3kV（SE） 低真空：3nm@30kV（SE） 放大倍率：1-300,000x（底片倍率）；1-1,000,000x（屏幕倍率） 加速电压：0.2kV-30kV 探测器：二次电子探测器（ETD）、背散射电子探测器（BSED）、X射线能谱仪（EDS）等 样品台：五轴自动样品台（X: 120 mm / Y: 115 mm / Z: 50 mm / R: 360°/ T: -10°- +90°）

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